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半導体300mmウェーハ搬送 ラインナップ

Stocker

製品イメージ

製品に関するお問い合わせ

概要

搬送システム間の中間バッファ的役目を行なうクリーンルーム内自動倉庫です。 用途に応じてスタンダード型(ST)、高層型(FT)、多階層型(TW)の基本3タイプを用意しています。

効果

優れた拡張性 基本ユニットによる柔軟性 フロア占有面積の削減


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