世界で初めてギアレスＤＤモータを採用した半導体３００ｍｍウェーハ搬送用高速ＲＧＶです。高速走行、高速移載、高精度の走行停止を実現し、クリーンルーム内搬送を効率アップします。

※QTAT：Quick-Turn Around Time（１つの仕事の早さ）