ＯＨＳと同じように天井を走行して、ストッカや製造装置間を“ダイレクト”に搬送するリニアモータを利用した搬送装置です。ベルト駆動で上下するホイスト機構がFOUP上部のトップフランジを利用してキャリアを運びます。

※QTAT：Quick-Turn Around Time（１つの仕事の早さ）