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世界No.1の納入実績を誇るアシスト テクノロジーズ ジャパンの300mmAMHS(Automated Material Handling System)は、半導体工場が必要としている搬送機器をフルに備え、その開発力、ソフトウエア、技術力、そしてシステムの統合力が織り成す優れた融合システムです。先進の半導体工場が要望する高搬送量、高速搬送、QTAT、コスト削減を実現可能とします。
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半導体300mmウェーハ搬送システムの納入実績
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