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半導体300mmウェーハ搬送 ラインナップ

FasTrack

製品イメージ

製品に関するお問い合わせ

概要

FasTrackTMシステムは高速かつ高密度な搬送によりハイスループットと搬送時間の短縮を両立する次世代搬送システムです。 FasTrackTMではハイスループットの搬送がQTATを犠牲にすることなく可能となります。 さらに、FasTrackTMのコンベヤをバッファとすることで、ストッカースペースの大幅削減や、工程間搬送での工程内コンベヤの直接接続が可能となり、工程内・工程間をシームレスに繋いだ搬送が現実となります。

効果

高搬送量の実現 QTATの実現 フロア占有面積の削減

※QTAT:Quick-Turn Around Time(1つの仕事の早さ)


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