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OHS
OHT
AGV
Stocker
RGV
FasTrack
TM
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多関節マニピュレータ搭載の自立形移動ロボットです。 高精度なナビゲーションシステムにより、複雑なクリーンルーム内でもフレキシブルに走行してストッカや製造装置間のキャリア搬送を行います。
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