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半導体300mmウェーハ搬送 ラインナップ

AGV (Automated Guided Vehicle)

製品イメージ

製品に関するお問い合わせ

概要

多関節マニピュレータ搭載の自立形移動ロボットです。 高精度なナビゲーションシステムにより、複雑なクリーンルーム内でもフレキシブルに走行してストッカや製造装置間のキャリア搬送を行います。

効果

フレキシブルなレイアウト構築


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